[发明专利]汽化单元以及借助所述类型汽化单元来真空涂布物件的方法有效
| 申请号： | 201480033344.0 | 申请日： | 2014-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN105283575B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | A·德拉肯;R·K·格劳;R·恩古梅尼雅皮;H·J·施瓦格 | 申请（专利权）人： | 钴碳化钨硬质合金公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青;卢亚静 |
| 地址： | 美国宾*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 为了确保金属是均匀汽化的，特别是在真空汽提汽化器设备中均匀汽化的，本发明公开了一种汽化单元(2)，所述汽化单元具有内腔(6)，所述内腔由外腔(8)所连接至的周向幅材(10)限定。 | ||
| 搜索关键词： | 汽化 单元 以及 借助 类型 真空 物件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种汽化单元(2)，包括：顶侧(4)，具有由环绕幅材(10)限定的内腔(6)，外腔(8)，连接至所述环绕幅材(10)，和外边缘(12)，围绕外腔(8)延伸，其中，所述外腔(8)以及所述幅材(10)被设计为沿所述顶侧(4)的周边边缘，并且所述内腔(6)完全覆盖由所述幅材(10)所包围的区域；其中，所述汽化单元(2)是电阻加热的；并且其中，所述外腔(8)比所述内腔(6)深，并且所述外腔(8)具有外部汽化表面，该外部汽化表面的操作温度比所述内腔(6)的内部汽化表面的操作温度高。
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