[发明专利]用于离子装置的磁铁以及离子装置有效
| 申请号： | 201480033457.0 | 申请日： | 2014-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN105283975B | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 斯卡特·巴洛克拉夫;詹姆士·S·贝福 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12;H01L43/08 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨贝贝,臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种用于离子装置的磁铁以及离子装置。各种示例提供一种包括配置于离子束耦合器周围的第一磁铁与第二磁铁的磁铁，所述离子束耦合器具有孔隙通过之。第一磁铁与第二磁铁的各者包括具有空腔于其中的金属核心、配置于金属核心周围的一或多个导线包以及经设置以嵌入于空腔中的环形核心元件，其中在空腔与环形核心元件之间形成环形冷却剂流体通道。此外，各环形核心元件可具有第一直径且中间部分具有第二直径，第二直径小于第一直径。已揭示与主张其他实施例，该磁铁的冷却能力增加，因此可通过导线包的电流量可增加。 | ||
| 搜索关键词： | 磁铁 用环型 冷却 流体 通道 | ||
【主权项】：
一种用于离子装置的磁铁，其特征在于，包括：金属核心，其中具有空腔；多个导线包，配置于所述金属核心周围；以及环形核心元件，经设置以被所述空腔容纳，所述环形核心元件经设置以形成环形冷却剂流体通道，所述环形冷却剂流体通道形成在所述空腔中且位于所述金属核心与所述环形核心元件之间，其中所述多个导线包位于所述环形冷却剂流体通道的周围，其中所述环形核心元件具有第一直径与具有第二直径的中间部分，所述第二直径小于所述第一直径，且所述第一直径小于所述金属核心的所述空腔的直径。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦里安半导体设备公司，未经瓦里安半导体设备公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480033457.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：散包除尘一体化装置
- 下一篇：半导体装置、固体摄像装置以及摄像装置
