[发明专利]辐射检测器及制造它的方法有效
| 申请号： | 201480033641.5 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN105283779B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 本间克久 | 申请（专利权）人： | 东芝电子管器件株式会社 |
| 主分类号： | G01T1/20 | 分类号： | G01T1/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明一实施例的辐射检测器具有：阵列基板，其具有光电转换元件；闪烁体层，其形成在该光电转换元件上且将辐射转换为荧光；防湿层，其具有平滑层和水蒸气阻隔层，该平滑层是形成为覆盖该闪烁体层的连续膜且至少包含有机树脂材料作为主成份，该水蒸气阻隔层是直接形成在该平滑层的表面上的连续膜且包含无机材料。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 检测器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种辐射检测器，包括：阵列基板，包含光电转换元件；闪烁体层，形成在所述光电转换元件上且将辐射转换为荧光；以及防湿层，该防湿层通过层叠平滑层和水蒸汽阻隔层而形成，所述平滑层是形成为覆盖所述闪烁体层的连续膜且至少包含有机树脂材料以及散布于其中的光散射体，所述水蒸汽阻隔层是通过直接成膜而形成在所述平滑层的表面上的连续膜且包含无机材料，其特征在于，所述平滑层中，在靠近所述闪烁体层的一侧具有高体积比例的所述光散射体，而在靠近所述水蒸汽阻隔层的一侧具有低体积比例的所述光散射体，且所述平滑层的厚度不小于所述闪烁体层的凹凸。
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