[发明专利]一种高精度平面定位系统有效
| 申请号： | 201480033774.2 | 申请日： | 2014-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105765663B | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 布迪曼·萨斯塔;吴玟宏;刘宇;廖永平;魏潇春 | 申请（专利权）人： | 雅科贝思精密机电（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 曾少丽 |
| 地址： | 201202 上海市浦东新区川*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种高精度平面定位系统，包括底座、两X轴直线电机模块、Y轴直线电机模块和载盘座，两X轴直线电机模块对称设置在底座上，Y轴直线电机模块穿设载盘座，Y轴直线电机模块的第一端和第二端分别连接两X轴直线电机模块；Y轴直线电机模块包括滑轨安装板、第一滑轨、磁铁、第一电机动子和第二电机动子，滑轨安装板通过第一滑轨与载盘座连接，第一电机动子和第二电机动子设置在载盘座内，滑轨安装板的两侧分别通过磁铁卡设第一电机动子和第二电机动子。Y轴直线电机模块采用双电机与滑轨安装板一体式设计，使变形匀称，提高载盘座的平面度，防止滑轨安装板因不对称变形而出现卡死现象。 | ||
| 搜索关键词： | 电机动子 滑轨安装板 载盘 高精度平面 定位系统 底座 滑轨 变形 一体式设计 对称设置 卡死现象 不对称 磁铁卡 第一端 平面度 双电机 磁铁 穿设 | ||
【主权项】：
一种高精度平面定位系统，包括底座(6)、两X轴直线电机模块(5)、Y轴直线电机模块(2)和载盘座(1)，两所述X轴直线电机模块(5)对称设置在所述底座(6)上，所述Y轴直线电机模块(2)穿设所述载盘座(1)，所述Y轴直线电机模块(2)的第一端和第二端分别连接两所述X轴直线电机模块(5)；其特征在于，所述Y轴直线电机模块(2)的第一端通过球状关节(15)连接其中一所述X轴直线电机模块(5)；所述Y轴直线电机模块(2)的第二端通过轴关节(12)连接另一所述X轴直线电机模块(5)；所述Y轴直线电机模块(2)包括滑轨安装板(3)、第一滑轨(4)、磁铁(19)、第一电机动子(18)和第二电机动子(20)，所述滑轨安装板(3)通过所述第一滑轨(4)与所述载盘座(1)连接，所述第一电机动子(18)和所述第二电机动子(20)设置在所述载盘座(1)内，所述滑轨安装板(3)的两侧分别通过所述磁铁(19)卡设所述第一电机动子(18)和所述第二电机动子(20)；所述X轴直线电机模块(5)包括第二滑轨(11)、磁轨(9)、电机动子(14)、支架(8)和磁轨支架(10)，所述磁轨支架(10)和所述第二滑轨(11)设置在所述底座(6)上，所述磁轨(9)设置在所述磁轨支架(10)上，所述电机动子(14)卡设在所述磁轨(9)内，并通过所述支架(8)连接所述Y轴直线电机模块(2)，所述第二滑轨(11)上设置有滑块支架(17)。
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