[发明专利]内部腔室旋转马达、可供选择的旋转

摘要

本发明的实施方式大体关于一种RTP腔室内的旋转装置。该旋转装置包括圆柱形内座圈、多个止推轴承及多个径向轴承。在操作期间，这些轴承产生气垫，该气垫防止旋转部分接触静止部分。

主权项

1.一种旋转装置，所述旋转装置包括：圆柱形内座圈，所述圆柱形内座圈具有薄壁及自所述薄壁延伸的环形部分，其中所述薄壁的圆柱形表面垂直于所述环形部分的平面；多个多孔止推轴承，所述多个多孔止推轴承以第一间隔关系邻接所述环形部分的所述平面而设置，所述第一间隔关系容许所述圆柱形内座圈相对于所述多个多孔止推轴承的旋转；多个多孔径向轴承，所述多个多孔径向轴承以第二间隔关系邻接所述薄壁的所述圆柱形表面而设置，所述第二间隔关系容许所述圆柱形内座圈相对于所述多个多孔径向轴承的旋转；静止支撑环，所述静止支撑环以所述第一间隔关系紧固所述多个多孔止推轴承及以所述第二间隔关系紧固所述多个多孔径向轴承，其中在两个多孔止推轴承之间紧固各个多孔径向轴承；基板支撑表面，所述基板支撑表面被紧固至所述圆柱形内座圈；以及线性弧形马达，所述线性弧形马达啮合所述圆柱形内座圈。