[发明专利]离子铣削装置以及使用离子铣削装置的加工方法有效
| 申请号： | 201480035014.5 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN105340050B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 上野敦史;高须久幸;武藤宏史 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/18;H01J37/20;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的离子铣削装置具备真空室(105)、进行该真空室内的真空排气的排气装置(101)、在上述真空室内支撑离子束所照射的试样(102)的试样台(103)、加热上述真空室内的加热装置(107)、向上述真空室内导入作为热介质的气体的气源(106)、控制该气源的控制装置(110)，该控制装置在由上述加热装置进行的加热时，以上述真空室内的压力为预定的状态的方式控制。由此，在冷却试样进行离子铣削后大气开放时，可在短时间内进行用于抑制产生的结露等的温度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 铣削 装置 以及 使用 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种离子铣削装置，其具备真空室、进行该真空室内的真空排气的排气装置以及在上述真空室内支撑离子束所照射的试样的试样台，该离子铣削装置的特征在于，具备加热上述真空室内的加热装置、向上述真空室内导入气体的气源以及控制该气源的控制装置，在由上述加热装置进行的加热时，该控制装置以上述真空室内的压力成为预定状态的方式控制上述气源。
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