[发明专利]有机电致发光元件的制造方法和有机电致发光显示装置

摘要

本发明提供能够抑制模糊宽度增大并且缩短成膜时间的有机EL元件的制造方法和有机EL显示装置。本发明是使用扫描蒸镀法的有机EL元件的制造方法，其特征在于，以与限制板的各开口部相对的方式在蒸镀源设置多个射出口，将与同一开口部相对的多个射出口相互分离地配置，使得由下述式(1)表示的分布之和为1以下。Ri表示与同一开口部相对的多个射出口中的射出口i的最大成膜速率，i表示1以上m以下的整数，m表示与同一开口部相对的多个射出口的个数，ri表示蒸镀工序中的射出口i的实际的成膜速率，ni为射出口i的n值(0以上的数)，θi表示将射出口i与成膜区域内的任意点连结的线段与主成膜方向所成的角。

主权项

一种有机电致发光元件的制造方法，其特征在于：所述制造方法包括蒸镀工序，在使基板与掩模分离的状态下，在使所述基板相对于1个以上的蒸镀源、限制板和所述掩模相对移动的同时，使蒸镀颗粒附着在所述基板上，形成薄膜的图案，所述1个以上的蒸镀源、所述限制板、所述掩模和所述基板依次配置，在所述限制板设置有多个开口部，在所述1个以上的蒸镀源，与所述多个开口部中的各个开口部相对地设置有多个射出口，在所述蒸镀工序中，在ri＜Ri的条件下进行蒸镀，与同一开口部相对的多个射出口相互分离地配置，使得由下述式(1)表示的分布之和为1以下，cos(ni+3)θi×ri/Ri---(1),]]>其中，Ri表示与所述同一开口部相对的所述多个射出口中的射出口i的最大成膜速率，i表示1以上m以下的整数，m表示与所述同一开口部相对的所述多个射出口的个数，ri表示所述蒸镀工序中的所述射出口i的实际的成膜速率，ni为所述射出口i的n值，该n值为0以上的数，θi表示将所述射出口i与成膜区域内的任意点连结的线段与主成膜方向所成的角θ，各射出口的n值，通过从各射出口分别产生蒸镀流，使蒸镀颗粒蒸镀在各自的试验用基板上形成薄膜，此时，将各试验用基板固定，不配置掩模，实际测定某个方向的各薄膜的膜厚分布，使n变化，与cos(n+3)θ的曲线图进行拟合而算出。