[发明专利]用于制备含氧化铟的层的制剂、其制备方法及其用途有效
| 申请号： | 201480035813.2 | 申请日： | 2014-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN105555790B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | J.斯特格;A.梅库洛夫;A.霍普佩 | 申请（专利权）人： | 赢创德固赛有限公司 |
| 主分类号： | C07F5/00 | 分类号： | C07F5/00;C23C18/12;H01L21/285 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邵长准;石克虎 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及能够通过将至少一种醇化铟化合物溶解在至少一种溶剂中而制备的液体制剂，其中该醇化铟化合物可以通过使如下物质反应而制备：三卤化铟InX3，其中X=F、Cl、Br、I，和式R'2NH的仲胺，其中R'=烷基，与所述三卤化铟的摩尔比为8:1至20:1，在通式ROH的醇的存在下，其中R=烷基；本发明还涉及其制备方法、其用于制备含氧化铟的层或者（半）导体层的用途以及使用本发明的制剂制备含氧化铟的层的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 氧化 制剂 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.能够通过将至少一种醇化铟化合物溶解在至少一种溶剂中而制备的液体制剂，其中该醇化铟化合物可以通过使如下物质反应而制备：‑ 三氯化铟InCl3，‑ 二甲基胺Me2NH，与所述三氯化铟的摩尔比为8:1至20:1‑ 在甲醇MeOH的存在下，其特征在于，所述化合物具有通式[In6(O)(OMe)12Cl6]2‑[NH2Me2]+2 (MeOH)2。
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