[发明专利]电容式微机械加速度传感器有效
| 申请号： | 201480036160.X | 申请日： | 2014-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN105452876B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 马蒂·柳库;维尔-佩卡·吕特克宁;安斯·布卢姆奎斯特 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杜诚;李春晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及电容式微机械加速度传感器，其包括第一传感器(2)，第二传感器(4)和第三传感器(5)。第一传感器(2)包括转子电极(6)和定子电极(7)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第一梁(8)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第二梁(12)。第二传感器(4)被定位在由第一梁(8)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第一空间(17)中。第三传感器(5)被定位在由第二梁(12)、第一传感器(2)，和转子电极支承结构(19)限定的第二空间(18)中。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 机械 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种电容式微机械加速度传感器，包括：衬底(1)，第一传感器(2)，用于测量沿着与所述衬底(1)的平面(3)垂直的z轴的加速度，第二传感器(4)，用于测量沿着x轴、或沿着y轴、或沿着x轴和y轴的加速度，其中所述x轴和所述y轴与所述衬底(1)的所述平面(3)平行，并且所述y轴垂直于所述x轴，第三传感器(5)，用于测量沿着y轴、或沿着x轴、或沿着x轴和y轴的加速度，其中，所述第一传感器(2)包括转子电极(6)和定子电极(7)，以及其中所述转子电极(6)在转子锚定点(16)处被可移动地锚定到所述衬底(1)，其特征在于，具有第一端(9)和第二端(11)的第一梁(8)，所述第一端(9)通过第一弹簧结构(10)在第一连接点(47)处连接到转子电极支承结构(19)，所述转子电极支承结构(19)被锚定到所述衬底(1)，所述第二端(11)在第二连接点(48)处连接到所述第一传感器(2)的所述转子电极(6)，具有第一端(13)和第二端(15)的第二梁(12)，所述第一端(13)通过第二弹簧结构(14)在第三连接点(49)处连接到所述转子电极支承结构(19)，所述转子电极支承结构(19)被锚定到所述衬底(1)，所述第二端(15)在第四连接点(50)处连接到所述第一传感器(2)的所述转子电极(6)，所述第一梁(8)和所述第二梁(12)与所述加速度传感器的中心轴(A)平行，所述第二传感器(4)位于第一空间(17)中，所述第一空间(17)由所述第一梁(8)、所述第一传感器(2)、所述转子电极支承结构(19)和所述加速度传感器的所述中心轴(A)限定，以及所述第三传感器(5)位于第二空间(18)中，所述第二空间(18)由所述第二梁(12)、所述第一传感器(2)、所述转子电极支承结构(19)和所述加速度传感器的所述中心轴(A)限定。
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