[发明专利]静电扫描器、离子注入系统以及用于处理离子束的方法有效
| 申请号： | 201480036223.1 | 申请日： | 2014-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN105340052B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 法兰克·辛克莱;约瑟·C·欧尔森;艾德沃·W·比尔;大尼尔·菲德门 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨贝贝,臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电扫描器、离子注入系统以及用于处理离子束的方法，该静电扫描器用以在离子注入机中扫描离子束。静电扫描器可以包含第一扫描板，第一扫描板具有面向离子束的第一内表面，第一内表面在垂直于离子束传播方向的第一平面中具有凹面形状；以及与第一扫描板相对的第二扫描板，第一扫描板与第二扫描板以间隙间隔开以容纳离子束，第二扫描板具有面向离子束的第二内表面并且在第一平面中具有凸面形状，第一扫描板以及第二扫描板经配置以在间隙中生成静电场，从而沿着垂直于离子束传播方向的水平方向来回扫描离子束。该静电扫描器可以减小由传统设备产生的离子束的垂直角展度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 离子 角展度 设备 技术 | ||
【主权项】：
一种静电扫描器，用以在离子注入机中扫描离子束，包括：第一扫描板，其具有面向所述离子束的第一内表面，所述第一内表面在垂直于所述离子束的传播方向的第一平面中具有凹面形状；以及与所述第一扫描板相对的第二扫描板，所述第一扫描板与所述第二扫描板以间隙间隔开以容纳所述离子束，所述第二扫描板具有面向所述离子束的第二内表面并且在所述第一平面中具有凸面形状，所述第一扫描板以及所述第二扫描板经配置以在所述间隙中生成静电场，从而沿着垂直于所述离子束的所述传播方向的水平方向来回扫描所述离子束。
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