[发明专利]带阀门机制的MEMS器件有效
| 申请号： | 201480037351.8 | 申请日： | 2014-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN105493519B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王喆;邹泉波;陶继方 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 266101 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种MEMS器件，包括：印刷电路板；盖子，附接至印刷电路板从而形成壳体；形成在所述壳体中的至少一个声孔；位于所述壳体内部的具有振膜的声电转换芯片；以及，至少一个快门结构，位于所述壳体内部，每个快门结构可围绕相对应的声孔安装到壳体上。每个快门结构包括：衬底，具有形成在其中的至少一个通风孔；可移动部件，具有形成在其中的至少一个空气间隙和可移动部分。可移动部件连接在衬底和壳体之间；其中，所述可移动部分在常规压力下保持在打开位置使得从声孔经过所述可移动部件的至少一个空气间隙到所述衬底的至少一个通风孔的空气流路径被打开，在高外部压力下移动到第一关闭位置以阻塞所述衬底的至少一个通风孔并因而关闭空气流路径。 | ||
| 搜索关键词： | 阀门 机制 mems 器件 | ||
【主权项】：
一种MEMS器件，包括：印刷电路板；盖子，附接至印刷电路板从而形成壳体；至少一个声孔，形成在所述壳体中；具有振膜的声电转换芯片，位于所述壳体内部；以及至少一个快门结构，位于所述壳体内部，每个快门结构可围绕相对应的声孔安装到所述壳体上，每个快门结构包括：衬底，具有形成在其中的至少一个通风孔；可移动部件，具有形成在其中的至少一个空气间隙和可移动部分，所述可移动部件连接在所述衬底和所述壳体之间；其中，所述可移动部分在常规压力下保持在打开位置使得始自声孔并经过所述可移动部件的至少一个空气间隙到所述衬底的至少一个通风孔的空气流路径被打开，在高外部压力下移动到第一关闭位置以阻塞所述衬底的至少一个通风孔并因而关闭所述空气流路径。
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