[发明专利]固相粉末涂敷装置及涂敷方法

摘要

本发明涉及向配置于真空状态的涂敷腔体内部的基材喷射及涂敷固相粉末的装置及方法，更详细地，涉及可将吸入处于大气压状态的气体的吸入气体和由气体供给装置供给的供给气体一同用作上述固相粉末的输送气体的固相粉末涂敷装置及方法。本发明提供固相粉末涂敷装置，上述固相粉末涂敷装置的特征在于，包括输送管(10)，用于提供固相粉末(4)的输送通道；气体供给管(15)，成为从气体供给装置(20)供给的供给气体的流路；喷射喷嘴(30)，与上述输送管(10)或气体供给管(20)的末端相结合；涂敷腔体(40)，用于收容上述喷射喷嘴(30)；固相粉末供给部(未图示)，用于向上述输送管(10)供给在维持大气压状态的环境中收容的固相粉末(4)；以及压力调节装置(50)，用于调节上述涂敷腔体(40)的内部压力，借助通过驱动上述压力调节装置(50)而形成的上述涂敷腔体(40)的负压，来使处于大气压状态的气体被上述输送管(10)所吸入，从而使吸入气体(1)和供给气体(2)一同被用作固相粉末(4)的输送气体(3)，上述输送管(10)和气体供给管(15)分别使第一区间(10a、15a)、第二区间(10b、15b)及第三区间(10c、15c)依次连续形成，并且上述第一区间(10a、15a)至第三区间(10c、15c)的直径符合如下条件1)至条件3)中的一个，条件1)第一区间＝第二区间＝第三区间；条件2)第一区间≥第三区间≥第二区间；及条件3)第三区间≥第一区间≥第二区间。

主权项

一种固相粉末涂敷装置，其特征在于，包括：输送管(10)，用于提供固相粉末(4)的输送通道；气体供给管(15)，成为从气体供给装置(20)供给的供给气体的流路；喷射喷嘴(30)，与上述输送管(10)或气体供给管(15)的末端相结合；涂敷腔体(40)，用于收容上述喷射喷嘴(30)；固相粉末供给部，用于向上述输送管(10)供给在维持大气压状态的环境中收容的固相粉末(4)；以及压力调节装置(50)，用于调节上述涂敷腔体(40)的内部压力，借助通过驱动上述压力调节装置(50)而形成的上述涂敷腔体(40)的负压，来使处于大气压状态的气体被上述输送管(10)所吸入，从而使吸入气体(1)和供给气体(2)一同被用作固相粉末(4)的输送气体(3)，上述输送管(10)和气体供给管(15)分别使第一区间(10a)、(15a)、第二区间(10b)、(15b)及第三区间(10c)、(15c)依次连续形成，并且上述第一区间(10a)、(15a)至第三区间(10c)、(15c)的直径符合如下条件1)至条件3)中的一个，条件1)：第一区间＝第二区间＝第三区间；条件2)：第一区间≥第三区间≥第二区间；条件3)：第三区间≥第一区间≥第二区间。