[发明专利]TiB2层及其制造有效
| 申请号： | 201480038313.4 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105492652B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 徳尼斯·库拉珀夫;西格弗里德·克拉斯尼策尔 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及具有涂层的工件，涂层包括至少一个TiB2层，其特征是，该TiB2层具有以下织构，该织构在XRD图谱中造成显示出鲜明的(002)取向的明显的峰。本发明还涉及制造具有涂层的这种工件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | tib sub 及其 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用包含TiB2的层涂覆至少一个工件的方法，其包括以下步骤：给涂覆室装入待涂覆的工件，所述包含TiB2的层是通过在含工作气体的气氛中的非反应性溅射法并通过作用于TiB2靶来施加的，其特征是，对作为溅射阴极的至少两个TiB2靶交替施以高于20kW的直流功率源的功率，以便功率密度有时在靶上导致局部大于0.2A/cm2的电流密度，其中，所述靶按时间平均来说必须耗用不超过10kW的功率，其中，所述包含TiB2的层的粗糙度能够通过所述工作气体分压的调节而得到干预，并且其中，为了溅射，至少有时候维持不低于0.75Pa的工作气体分压。
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