[发明专利]表面发射激光器和光学相干断层扫描装置在审
申请号: | 201480039669.X | 申请日: | 2014-07-07 |
公开(公告)号: | CN105379034A | 公开(公告)日: | 2016-03-02 |
发明(设计)人: | 稻生耕久 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01S5/026 | 分类号: | H01S5/026;G01B9/02;H01S5/183;H01S5/00;H01S5/065;H01S5/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 欧阳帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了需要更少组件并且可以降低成本的表面发射激光器。表面发射激光器包括由第一反射镜(101)和第二反射镜(102)构成的腔体,并且具有通过用第一反射镜(101)在面对第二反射镜的方向上的移动(106)改变腔长而改变的谐振波长。该表面发射激光器还包括活性层(105)、第三反射镜(103)和光接收元件(104),活性层(105)被布置在腔体中并且发射光,第三反射镜(103)相对于第二反射镜(102)被布置在活性层(105)的相对侧,光接收元件(104)被布置为接收经过第三反射镜的光。波长扫描VCSEL可以包括可变形支撑构件(303)上的第一DBR(101),可变形支撑构件(303)又由另一个支撑构件(302)支撑。活性层(105)可以是在基板(107)上的第二DBR(102)上的MQW,基板(107)具有用于辐射物的背面发射以便被光电二极管(104)检测的孔。所检测到的辐射物被Fabry-Perot过滤频率,所述Fabry-Perot由第二DBR(102)和低反射率的第三反射器(103)生成,其中所述低反射率的第三反射器(103)由石英基板(103)的未涂覆的下表面和空气之间的界面实现。另一个外表面上的抗反射涂层(301,306)防止不期望的其他Fabry-Perot谐振器。通过相应地选择所述Fabry-Perot的FSR,可以从VCSEL的经Fabry-Perot过滤和检测的背面发射获得用于OCT应用的时钟信号。 | ||
搜索关键词: | 表面 发射 激光器 光学 相干 断层 扫描 装置 | ||
【主权项】:
一种表面发射激光器,包括:第一反射镜;第二反射镜;以及活性层,被设置在第一反射镜和第二反射镜之间,所述表面发射激光器具有随着第一反射镜相对于第二反射镜的移动而改变的谐振波长,其中,所述表面发射激光器还包括:第三反射镜,相对于第二反射镜被布置在活性层的相对侧;以及光接收元件,被布置为接收经过第三反射镜的光。
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