[发明专利]制造大型石英玻璃管的方法

摘要

已知用于制造大型石英玻璃管的多步成型方法，其中在第一成型步骤中使用成型工具形成具有中间圆筒壁厚和中间圆筒外径的由石英玻璃制成的中间圆筒并随后冷却，并在第二成型步骤中将冷却的中间圆筒的至少一个长度段供应到加热区，在其中逐区加热到软化温度，并在围绕其纵轴旋转的同时成型为具有最终壁厚和最终外径的大型石英玻璃管。几何形状波动随该最终管的外径呈指数型提高。为了由此提供能以经济上合理的花费制造甚至在大于500毫米的大外径下也具有高尺寸稳定性的石英玻璃管的方法，根据本发明建议，该石英玻璃是合成生产的并具有10重量ppm或更低的平均羟基含量，附加条件是在将该中间圆筒分成长度1厘米的长度段时，相邻长度段具有小于2重量ppm的平均羟基含量差异。

主权项

1.通过多步成型制造大型石英玻璃管(22)的方法，其中在第一成型步骤中使用成型工具(5)形成具有中间圆筒壁厚和中间圆筒外径的由石英玻璃制成的中间圆筒(2)并随后冷却，且其中在第二成型步骤中将冷却的中间圆筒(2)的至少一个长度段供应到加热区(25)，在其中逐区加热到软化温度，并在围绕其纵轴(3)旋转的同时成型为具有最终壁厚和最终外径的大型石英玻璃管(22)，其特征在于所述石英玻璃是合成生产的并具有10重量ppm或更低的平均羟基含量，附加条件是在将所述中间圆筒分成长度1厘米的长度段时，相邻长度段具有小于2重量ppm的平均羟基含量差异，其中在第二成型步骤中在其纵轴(3)方向上压缩大型石英玻璃管(22)，由此所述大型石英玻璃管(22)得到比中间圆筒(2)的初始长度短的长度，并且以使其压缩后的壁厚为其压缩前的壁厚的70%至最大100%。