[发明专利]涂层工具以及制造和使用涂层工具的方法有效
| 申请号： | 201480040618.9 | 申请日： | 2014-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN105683412B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | M·J·卢基特施 | 申请（专利权）人： | 通用汽车环球科技运作有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹松青;董均华 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文所公开的涂层工具的示例包括基体、形成于所述基体上的金属层、形成于所述金属层上的连续的金属碳化物层，和形成于所述金属碳化物层上的平滑的、连续的、封端的类金刚石碳(DLC)层。所述DLC层用于防止来自工件的金属粘附至工具，所述工具作用于所述工件上。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 工具 以及 制造 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂层工具，包括：基体；形成于所述基体上的金属层；形成于所述金属层上的连续的金属碳化物层；和形成于所述金属碳化物层上的平滑的、连续的、封端的类金刚石碳DLC层，其中所述DLC层是原子级平滑的，并且具有范围从1 nm至200 nm的表面粗糙度，所述DLC层是由将被钝化的悬空键封端的非氢化的DLC层，其中所述非氢化的DLC层通过在无烃前体时实施石墨靶至金属碳化物层上的磁控溅射而形成；其中所述金属层具有10 nm或更小的厚度，并且其中所述金属碳化物层具有范围从0.01 μm至0.5 μm的厚度，并且所述DLC层具有范围从0.5 μm至6 μm的厚度；其中所述DLC层用于防止来自工件的金属粘附至工具，所述工具作用于所述工件上。
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