[发明专利]高压BF3/H2混合物的制备

摘要

本发明描述了用组成气体来填装气体混合物供应容器以得到精确组成的气体混合物的方法，其中所述气体混合物包含至少两种组成气体。可以采用级联填装技术，包括使气体从单个源容器流至多个目标容器，或从多个源容器流至单个目标容器。所述方法可用以形成用于离子注入应用的掺杂气体混合物，如三氟化硼和氢气的混合物。

主权项

1.一种用至少两种组成气体来填装气体混合物供应容器以得到气体混合物的方法，所述方法包括：(A)提供第一组成气体的源容器，以及待用所述至少两种组成气体填装的多个目标容器；(B)使第一组成气体向多个目标容器中的至少一个流动填装一段时间，直至达到预定压力或直至压力稳定；(C)中止第一组成气体向所述多个目标容器中的至少一个的流动填装，包括关闭已向其中流入了第一组成气体的所述多个目标容器中的至少一个；(D)对于尚未向其中引入第一组成气体的多个目标容器中的其他每个容器重复步骤(A)‑(C)；(E)关闭所述源容器；(F)流动填装第二组成气体至包含所述第一组成气体的所述多个目标容器的至少一个以产生气体混合物，所述气体混合物具有所述第一组成气体和所述第二组成气体的相对比例，同时在将所述第二组成气体引入所述至少一个目标容器期间保持所述至少一个目标容器处于预定温度；(G)在维持较轻的组成气体处于气相的同时冷却包含所述气体混合物的所述至少一个目标容器以使所述第一组成气体或所述第二组成气体的一者冷凝；以及(H)从所述至少一个目标容器中去除所述气相或将第一组成气体或第二组成气体引入到所述至少一个目标容器以得到预定的气体混合物组合物。