[发明专利]采用各向异性热电材料的激光电源传感器有效

专利信息
申请号: 201480040855.5 申请日: 2014-02-25
公开(公告)号: CN105705921B 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: R·塞梅拉德;E·克劳斯;J·施洛斯 申请(专利权)人: 相干公司
主分类号: G01J5/12 分类号: G01J5/12;G01J5/04
代理公司: 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 代理人: 郑洪成
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种激光辐射传感器包括铜衬底,其上生长了定向的多晶缓冲层,多晶缓冲层上是各向异性横向热电材料的定向的多晶传感器元件。与传感器元件热连接的吸收层被激光辐射加热以被测量并且将热交换至传感器元件,从而导致传感器元件上的热梯度。与传感器元件电接触的隔开的电极感测与热梯度相对应的电压,作为入射激光辐射功率的测量结果。至少两个保护层被布置在传感器层和吸收层之间。
搜索关键词: 采用 各向异性 热电 材料 激光 电源 传感器
【主权项】:
1.一种激光辐射传感器,包括:铜衬底;布置在衬底上方的定向的多晶缓冲层,缓冲层具有相对于衬底表面的法线成介于10度和45度之间的第一角度的晶向;布置在缓冲层上方的由选自热电材料组的热电材料制成的定向的多晶传感器元件,所述热电材料组由镝钡铜酸盐、锶钴酸钠和钴酸锶构成,传感器元件具有相对于衬底表面的法线成介于10度和45度之间的第二角度的结晶c轴定向;布置在传感器元件上的两个或更多保护层;布置在最上面的保护层上的辐射‑吸收层;以及与传感器元件电接触的隔开的第一和第二细长电极。
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