[发明专利]复合基板及其制造方法有效
| 申请号： | 201480041519.2 | 申请日： | 2014-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN105409119B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 多井知义;堀裕二;山寺乔纮;服部良祐;铃木健吾 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社;NGK陶瓷设备株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 复合基板10是通过使用离子束的直接接合将压电基板12和支撑基板14接合而形成的。压电基板12的一面为负极化面12a，另一面为正极化面12b。用强酸蚀刻的速率是负极化面12a大于正极化面12b。压电基板12以正极化面12b与支撑基板14直接接合，负极化面12a在表面露出。另外，压电基板12的负极化面12a被强酸蚀刻。支撑基板14由用强酸蚀刻时的速率比压电基板12的负极化面12a大的材质制作。 | ||
| 搜索关键词： | 压电基板 负极化 蚀刻 支撑基板 正极化 强酸 复合基板 直接接合 接合 离子束 速率比 制作 制造 | ||
【主权项】：
1.一种复合基板，包括：压电基板，所述压电基板的一面为负极化面，另一面为正极化面，支撑基板，所述支撑基板通过直接接合而与所述压电基板的所述正极化面接合，所述压电基板是钽酸锂基板或铌酸锂基板，所述支撑基板为硅基板或玻璃基板。
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