[发明专利]元件制造方法以及元件制造装置

摘要

提供元件制造方法，能够高效地覆盖基材中的被激光照射的部分。中间制品包含基材以及设于所述基材上的多个突起部。准备具有第1面的盖材，并使第1面朝向中间制品的突起部侧。在盖材按压工序中，在盖材的第1面形成有以朝向中间制品突出的方式弯曲的弯曲形状，并且，盖材中的形成有弯曲形状的部分紧贴在中间制品的一部分上。

主权项

一种元件制造方法，用于在基材上形成元件，其中，该元件制造方法包含：准备中间制品的工序，该中间制品包含所述基材以及设于所述基材上的多个突起部；准备具有第1面的盖材并使所述第1面朝向所述中间制品的所述突起部侧的工序；以及盖材按压工序，使所述盖材的所述第1面的一部分紧贴在所述中间制品的一部分上，在所述盖材按压工序中，在所述盖材的所述第1面形成有以朝向所述中间制品突出的方式弯曲的弯曲形状，并且，所述盖材中的形成有所述弯曲形状的部分紧贴在所述中间制品的一部分上，所述元件制造方法还包含照射工序，在该照射工序中，朝向所述盖材中的形成有所述弯曲形状的部分照射光，所述盖材具有所述第1面以及位于所述第1面的相反侧的第2面，在所述盖材按压工序中，使用盖材按压机构将所述盖材的所述第2面的一部分朝向所述中间制品按压，从而所述盖材的所述第1面的一部分紧贴在所述中间制品的一部分上，所述盖材按压机构具有：一对引导辊；以及长条状的加压膜，该加压膜以保持为在所述一对引导辊之间形成有弯曲部分的状态被输送，其中，该弯曲部分以朝向所述盖材突出的方式弯曲，在所述盖材按压工序中，以保持为形成有弯曲部分的状态被输送的长条状的加压膜的所述弯曲部分将所述盖材的所述第2面的一部分朝向所述中间制品按压，从而在所述盖材的与所述第2面对应的所述第1面形成沿着所述加压膜的所述弯曲部分的弯曲形状，其中，该弯曲部分以朝向所述盖材突出的方式弯曲。