[发明专利]光电子半导体芯片、光电子器件和用于制造半导体芯片的方法有效
申请号: | 201480041995.4 | 申请日: | 2014-07-23 |
公开(公告)号: | CN105409012B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 于尔根·莫斯布格尔;卢茨·赫佩尔 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;李德山 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 提出一种光电子半导体芯片(10),所述光电子半导体芯片具有载体(2)和半导体本体(1),所述半导体本体包括设置用于产生电磁辐射的有源层(13),其中半导体本体设置在载体上,半导体本体具有背离载体的第一主面(1A)和朝向载体的第二主面(1B),半导体芯片具有带有锚固结构(4)的侧面(1C),并且第二主面设置在第一主面和锚固结构之间。此外,提出一种具有这种半导体芯片的光电子器件(100)和一种用于制造多个这种半导体芯片的方法。 | ||
搜索关键词: | 半导体本体 半导体芯片 主面 光电子半导体芯片 光电子器件 锚固结构 电磁辐射 源层 制造 背离 侧面 | ||
【主权项】:
1.一种光电子器件(100),所述光电子器件包括壳体本体(3)和光电子半导体芯片(10),所述光电子半导体芯片具有载体(2)和半导体本体(1),所述半导体本体具有设置用于产生电磁辐射的有源层(13),其中‑所述半导体本体(1)设置在所述载体(2)上,‑所述半导体本体(1)具有背离所述载体(2)的第一主面(1A)和朝向所述载体(2)的第二主面(1B),‑所述半导体芯片(10)具有带有锚固结构(4)的侧面(1C),‑所述第二主面(1B)设置在第一主面(1A)和所述锚固结构(4)之间,‑所述侧面(1C)具有粗糙部,‑所述锚固结构(4)包含多个凹部(41),其中所述凹部(41)的横截面和深度分别为所述粗糙部的横截面或深度的至少三倍大,并且‑所述壳体本体(3)在横向方向上围绕所述半导体芯片(10),使得所述壳体本体(3)具有壳体材料(31),所述壳体材料接合到所述锚固结构(4)中,并且使得所述半导体芯片(10)的所述第一主面(1A)和背侧(1D)没有所述壳体本体(3)的壳体材料。
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