[发明专利]光电子半导体芯片、光电子器件和用于制造半导体芯片的方法有效

专利信息
申请号: 201480041995.4 申请日: 2014-07-23
公开(公告)号: CN105409012B 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 于尔根·莫斯布格尔;卢茨·赫佩尔 申请(专利权)人: 欧司朗光电半导体有限公司
主分类号: H01L33/22 分类号: H01L33/22
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 丁永凡;李德山
地址: 德国雷*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 提出一种光电子半导体芯片(10),所述光电子半导体芯片具有载体(2)和半导体本体(1),所述半导体本体包括设置用于产生电磁辐射的有源层(13),其中半导体本体设置在载体上,半导体本体具有背离载体的第一主面(1A)和朝向载体的第二主面(1B),半导体芯片具有带有锚固结构(4)的侧面(1C),并且第二主面设置在第一主面和锚固结构之间。此外,提出一种具有这种半导体芯片的光电子器件(100)和一种用于制造多个这种半导体芯片的方法。
搜索关键词: 半导体本体 半导体芯片 主面 光电子半导体芯片 光电子器件 锚固结构 电磁辐射 源层 制造 背离 侧面
【主权项】:
1.一种光电子器件(100),所述光电子器件包括壳体本体(3)和光电子半导体芯片(10),所述光电子半导体芯片具有载体(2)和半导体本体(1),所述半导体本体具有设置用于产生电磁辐射的有源层(13),其中‑所述半导体本体(1)设置在所述载体(2)上,‑所述半导体本体(1)具有背离所述载体(2)的第一主面(1A)和朝向所述载体(2)的第二主面(1B),‑所述半导体芯片(10)具有带有锚固结构(4)的侧面(1C),‑所述第二主面(1B)设置在第一主面(1A)和所述锚固结构(4)之间,‑所述侧面(1C)具有粗糙部,‑所述锚固结构(4)包含多个凹部(41),其中所述凹部(41)的横截面和深度分别为所述粗糙部的横截面或深度的至少三倍大,并且‑所述壳体本体(3)在横向方向上围绕所述半导体芯片(10),使得所述壳体本体(3)具有壳体材料(31),所述壳体材料接合到所述锚固结构(4)中,并且使得所述半导体芯片(10)的所述第一主面(1A)和背侧(1D)没有所述壳体本体(3)的壳体材料。
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