[发明专利]氟化甲烷的制造方法有效

专利信息
申请号: 201480042424.2 申请日: 2014-08-07
公开(公告)号: CN105408293B 公开(公告)日: 2017-11-10
发明(设计)人: 中村新吾;福本可奈子;江藤友亮;大塚达也;东昌弘 申请(专利权)人: 大金工业株式会社
主分类号: C07C17/093 分类号: C07C17/093;C07C19/08
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 代理人: 龙淳,王磊
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的课题在于作为用作干式蚀刻气体等的氟化甲烷的制造方法,提供一种更适于工业生产的方法。作为其解决方法,提供一种氟化甲烷的制造方法,其特征在于,通过使(A)硫酸二甲酯与(B)作为氟化合物的选自氟化氢和氟酸盐中的至少一种或氟化物金属盐在液相中反应,制造氟化甲烷(CH3F),在上述氟化合物(B)含有氟化氢或氟酸盐时,以无溶剂或作为溶剂使用极性溶剂,使反应进行,并且在上述氟化合物(B)为氟化物金属盐时,作为溶剂使用水,使反应进行。
搜索关键词: 氟化 甲烷 制造 方法
【主权项】:
一种氟化甲烷的制造方法,其特征在于:通过使(A)硫酸二甲酯与(B)作为氟化合物的选自氟化氢和氟酸盐中的至少一种或氟化物金属盐在液相中反应,制造氟化甲烷CH3F,在所述氟化合物(B)含有氟化氢或氟酸盐时,以无溶剂或作为溶剂使用极性溶剂,使相对于所述硫酸二甲酯(A)的摩尔比为20~50的所述氟化合物(B)进行反应,并且在所述氟化合物(B)为氟化物金属盐时,作为溶剂仅使用水,使相对于所述硫酸二甲酯(A)的摩尔比为20~50的所述氟化合物(B)进行反应,所述氟酸盐为下述通式(2)或(3)所示的至少一种氟酸盐,式中,R2、R3和R4相同或不同,表示氢原子、或可以取代有一个以上的卤素原子的烷基或环烷基,n为1~5的整数,式中,R5、R6和R7相同或不同,表示氢原子、或可以取代有一个以上的卤素原子的烷基或环烷基,n为1~5的整数。
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