[发明专利]低密度抛光垫有效
| 申请号： | 201480042621.4 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN105408063B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | P·黄;W·C·阿里森;R·弗伦泽尔;P·A·勒菲弗;R·科普里希;D·斯科特 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 徐国栋,林柏楠 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了低密度抛光垫和制造低密度抛光垫的方法。在一个实例中，用于将基质抛光的抛光垫包含具有小于0.5g/cc的密度且包含热固性聚氨酯材料(220)的抛光体(222)。多个闭孔(214,218)分散于热固性聚氨酯材料(220)中。 | ||
| 搜索关键词： | 密度 抛光 | ||
【主权项】：
制造抛光垫的方法，所述方法包括：将预聚物和增链剂或交联剂与多个未膨胀微型元件和多个预膨胀微型元件混合以形成混合物，所述多个未膨胀微型元件各自具有初始尺寸；和在成型模具中将混合物加热以提供包含热固性聚氨酯材料和分散于热固性聚氨酯材料中的第一多个闭孔和第二多个闭孔的模制抛光体，所述第一多个闭孔通过在加热期间使多个未膨胀微型元件各自膨胀至最终较大尺寸而形成，其中加热在多个未膨胀微型元件的膨胀阈值以上但在多个预膨胀微型元件的进一步膨胀阈值以下的温度下进行，使得多个预膨胀微型元件各自的尺寸在加热以前和以后是基本相同的，以提供在模制抛光体中的第二多个闭孔。
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