[发明专利]用于生产多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201480042794.6 | 申请日： | 2014-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN105408012B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 约兰·克洛泽;海因茨·克劳泽;弗朗茨·萨尔泽德 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | B01J3/00 | 分类号： | B01J3/00;C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 张英,宫传芝 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于生产多晶硅的方法，包括将包含含硅组分和氢的反应气体引入至包括在其上沉积有多晶硅的至少一个经加热的细丝棒的反应器中，其中所述反应器包括管状观察窗，所述管状观察窗在邻近反应器的一端固定至反应器壁的孔口并且在另一端具有玻璃面，其中在沉积过程期间，经由孔将冲扫气体引入所述管状观察窗中，其特征在于，冲扫气体流M1在所述观察窗的玻璃面附近并且基本上与所述玻璃面平行地移动，并且在观察窗邻近反应器的端部的方向中距离冲扫气体流M1的一定距离处，至少一个另外的冲扫气体流M2在观察窗邻近反应器的端部的方向中与所述玻璃面成一定角度移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 多晶 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产多晶硅的方法，包括：将包含含硅组分和氢的反应气体引入至包括在其上沉积有多晶硅的至少一个经加热的细丝棒的反应器中，所述反应器包括至少一个管状观察镜，所述管状观察镜在反应器端部固定至所述反应器壁中的孔口并且在另一端具有玻璃表面，在沉积期间通过孔将吹扫气体供应在所述观察镜的管中，其中，一个吹扫气体流M1靠近所述观察镜的所述玻璃表面并且与所述玻璃表面平行地运行，并且在所述观察镜的所述反应器端部的方向中与所述吹扫气体流M1间隔开的至少一个另外的吹扫气体流M2，在所述观察镜的所述反应器端部的方向中相对于所述玻璃表面成一定角度运行。
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