[发明专利]感光性树脂元件有效
申请号: | 201480043077.5 | 申请日: | 2014-11-28 |
公开(公告)号: | CN105474094B | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 五十岚勉;木野智博 | 申请(专利权)人: | 旭化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/033;G03F7/09;H01L21/027 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供外观良好、制品寿命长、在印刷电路板制作时减少在层压工序中由抗蚀层碎屑导致的不良的感光性树脂元件。本申请提供感光性元件,其为包含支撑层和该支撑层上的感光性树脂层的感光性树脂元件,该感光性树脂层包含(a)羧基含量以酸当量计为100~600、并且重均分子量为5000~500000的粘结剂用树脂、(b)可以光聚合的不饱和化合物、(c)光聚合引发剂、以及(d)溶剂,该感光性树脂层以该感光性树脂层的质量基准计包含0.001质量%以上且1质量%以下的量的该(d)溶剂,该感光性树脂层包含选自通式(I)~(III)的1种以上的化合物作为该(b)可以光聚合的不饱和化合物。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 元件 | ||
【主权项】:
一种感光性元件,其为包含支撑层和所述支撑层上的感光性树脂层的感光性树脂元件,所述感光性树脂层包含:(a)羧基含量以酸当量计为100~600、并且重均分子量为5000~500000的粘结剂用树脂、(b)可以光聚合的不饱和化合物、(c)光聚合引发剂、以及(d)溶剂,所述感光性树脂层以所述感光性树脂层的质量基准计包含0.001质量%以上且1质量%以下的量的所述(d)溶剂,所述感光性树脂层包含选自下述通式(I)~(III)的1种以上的化合物作为所述(b)可以光聚合的不饱和化合物,式(I)中,R1以及R2分别独立地表示氢原子或甲基,A表示C2H4基,B表示CH2CH(CH3)基,m1+m2为2~30的整数,m3+m4为0~30的整数,m1以及m2分别独立地为1~29的整数,m3以及m4分别独立地为0~29的整数,‑(A‑O)‑以及‑(B‑O)‑的重复单元的排列任选无规或嵌段,嵌段的情况下,任选‑(A‑O)‑以及‑(B‑O)‑的任一者为联苯基侧,式(II)中,R3表示氢原子或碳数为1~8的一价有机基团,R4、R5以及R6分别独立地表示氢原子或甲基,D表示碳数2~6的亚烷基,n1、n2以及n3为满足n1+n2+n3=3~60的0以上的整数,n4为0或1,其中,式中存在的多个D任选分别相同或不同,‑(O‑D)‑的重复结构任选无规或嵌段,式(III)中,R7~R11分别独立地表示氢原子或甲基,A1表示C2H4基,B1表示CH2CH(CH3)基,n5+n6为0~30的整数,n7+n8为0~30的整数,n5以及n6分别独立地为0~30的整数,n7以及n8分别独立地为0~30的整数,‑(O‑A1)‑以及‑(O‑B1)‑的重复单元的排列任选无规或嵌段,嵌段的情况下,任选‑(O‑A1)‑以及‑(O‑B1)‑的任一者为氨基甲酸酯基侧。
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