[发明专利]用于监控工艺的系统及方法有效
| 申请号： | 201480043259.2 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN105492982B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | S·K·拉希里;M·侯赛因 | 申请（专利权）人： | 科学设计公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02;G05B17/02 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 冯剑明 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及用于监控工艺的系统，所述工艺由与工艺输入‑输出数据有关的多维工艺数据域中的工艺数据集所确定，所述系统包括：用于获取多个历史工艺数据集的装置；用于通过执行多变量数据分析获取从所述多维工艺数据域至较低维度的模型数据域转换的装置；以及用于将当前工艺数据集转换至模型数据集以监控所述工艺的装置。进一步涉及用于监控工艺的方法，所述工艺由代表工艺输入‑输出数据的多维工艺数据域中的工艺数据集所确定，所述方法包括：获取多个历史工艺数据集；通过执行多变量数据分析获取从所述多维工艺数据域至较低维度的模型数据域的转换；以及将当前工艺数据集转换至模型数据集以监控所述工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺数据 模型数据 多维 监控工艺 多变量数据分析 历史工艺数据 输出数据 低维 转换 域转换 监控 | ||
【主权项】：
1.用于监控工艺的系统(30)，所述工艺由与工艺输入‑输出数据有关的多维工艺数据域中的工艺数据集所确定，所述系统(30)包括：用于获取多个历史工艺数据集的装置(15)；用于执行多变量数据分析以获取从所述多维工艺数据域至较低维度的模型数据域的转换的装置；以及用于使用获取的转换将当前工艺数据集转换至模型数据集以监控所述工艺的装置；所述系统(30)进一步包括：用于指定一个或多个区域的装置，每一区域容纳根据可从历史工艺数据集获取的模型数据集中的一个或多个簇而代表工艺正常运行条件或具体异常运行条件的模型数据集，所述历史工艺数据集可在正常事件期间收集以及在异常事件期间分别收集；以及通过识别容纳当前模型数据集的模型数据域的一个或多个指定区域中的一个，为当前模型数据集(101)诊断工艺运行条件的装置，其特征在于：为当前模型数据集(101)诊断工艺运行条件包括确定表示当前模型数据集(101)中的变化量的残差，进一步包括：根据观察一预设时间量的超过预设阈值的残差，检测不再由当前多变量数据分析捕捉的工艺特性永久变化的装置。
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