[发明专利]流量调整装置及具备其的分析装置有效

专利信息
申请号: 201480043595.7 申请日: 2014-07-09
公开(公告)号: CN105579826B 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 山根雅史;増田真吾;古贺圣规 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N1/00 分类号: G01N1/00;G01N30/32;G05D7/01
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本京都府京都*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种可将偏移值更新为适当值的流量调整装置及具备其的分析装置。判定处理部(441)根据压力传感器(42)的输出值,判定是否对偏移值进行更新。只在其结果判定为对偏移值进行更新的情况下,偏移值更新处理部(442)使压力传感器(42)的输出值作为偏移值存储在偏移值存储部(451)。由此,可防止在载气存在于流路内的状态下对偏移值进行更新,因此可将偏移值更新为适当值。
搜索关键词: 流量 调整 装置 具备 分析
【主权项】:
1.一种流量调整装置,其特征在于包括:流量调整阀,用于对在流路内流动的流体的流量进行调整;压力传感器,设置在所述流量调整阀的下游侧,对所述流路内的压力进行检测;偏移值存储部,存储偏移值,所述偏移值成为利用所述压力传感器对所述流路内的压力进行检测时的基准;判定处理部,在所述压力传感器的输出值为第1阈值以下或在规定时间内的所述压力传感器的输出值的最大值与最小值的差为第2阈值以下时,判定所述压力传感器的输出值不是与对应于大气压的值相偏离的值;偏移值更新处理部,当将所述压力传感器的输出值判定为不是与对应于大气压的值相偏离的值时,使所述压力传感器的输出值作为偏移值存储在所述偏移值存储部;以及压力测定处理部,根据通过所述偏移值更新处理部而更新的偏移值及所述压力传感器的输出值,对所述流路内的压力进行测定。
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