[发明专利]用于扫频源光学相干层析成像系统的波长可调谐垂直腔面发射激光器

摘要

一种使用微机电系统(MEMS)技术的波长可调谐的垂直腔面发射激光器(VCSEL)被设置为用于光学相干层析成像(OCT)的扫频源。所述波长可调谐VCSEL包括VCSEL的底部反射镜、有源区、以及通过静电偏转而可移动的MEMS可调谐上部反射镜。所述底部反射镜包括GaAs基分布的布拉格反射镜(DBR)叠层，以及所述有源区包括多个GaAs基量子点(QD)层的叠层，所述有源层在GaAs衬底上外延生长。所述MEMS可调谐上部反射镜包括由悬挂梁支撑的膜部、以及包含介电DBR叠层的上部反射镜。所述MEMS可调谐量子点VCSEL能覆盖超过100nm的操作波长范围，优选具有250nm和1950nm之间的中心波长，并且扫描速率能从几kHz到几百kHz、以及高达几MHz。

主权项

1.一种用于扫频源光学相干层析成像的可调谐VCSEL，包括：MEMS可调谐VCSEL，其中所述MEMS可调谐VCSEL包括：底部的半VCSEL部分和上部的反射镜部分，其中所述底部的半VCSEL部分包括：在GaAs衬底上外延生长的底部的分布的布拉格反射镜，和由多层量子点组成的有源层，所述有源层在所述底部分布的布拉格反射镜的顶部上外延生长，并且所述上部的反射镜部分包括：柄状衬底，由横梁支撑的垂直可移动的膜，并且所述膜支撑柄状衬底；设置在所述垂直可移动的膜上的上部分布的布拉格反射镜，作为光线的上部反射镜；在所述垂直可移动的膜和所述柄状衬底之间供应电压的电极，以改变形成于所述上部分布的布拉格反射镜和所述底部分布的布拉格反射镜之间的腔体的腔体长度，其中VCSEL具有大于100nm的可调谐范围。