[发明专利]紫外线照射装置

摘要

实施方式的紫外线照射装置具备处理槽、紫外线照射部件、紫外线传感器、以及空气排出部。处理槽包括用于供给处理对象的处理水的供水口和用于排出处理水的排水口。紫外线照射部件设于处理槽的内部，对经过处理槽的内部的处理水照射紫外线。紫外线传感器设于处理槽的内部，并且测量来自紫外线照射部件的紫外线照射量。空气排出部与空气排出孔连接，该空气排出孔设于比通过紫外线传感器的水平面高的位置，上述空气排出部被设为用于使处理水经过处理槽的内部时积存于处理槽的内部的空气经由空气排出孔向处理槽的外部逸出。

主权项

一种紫外线照射装置，其中，具备：处理槽，包括用于供给处理对象的处理水的供水口和用于排出上述处理水的排水口；紫外线照射部件，设于上述处理槽的内部，对经过上述处理槽的内部的上述处理水照射紫外线；紫外线传感器，设于上述处理槽的内部，并且测量来自上述紫外线照射部件的紫外线照射量；以及空气排出部，与空气排出孔连接，该空气排出孔设于比通过上述紫外线传感器的水平面高的位置，上述空气排出部用于使上述处理水经过上述处理槽的内部时积存于上述处理槽的内部的空气经由上述空气排出孔向上述处理槽的外部逸出，上述空气排出部包括：筒状部件，具有构成上述空气排出孔的内周面；以及阀部件，以能够开闭的方式封堵上述空气排出孔，上述紫外线照射装置还具备：阀驱动部，驱动上述阀部件；测量部件，对经过上述处理槽的内部的上述处理水的水面的高度位置进行测量；以及控制部，基于上述测量部件的测量结果控制上述阀驱动部，使得在上述处理水的水面下降至比通过上述紫外线传感器的水平面低的位置之前由上述阀部件将上述空气排出孔打开。