[发明专利]焦点调节方法及其装置

摘要

提供能够对自映出有各种形状的物体的图像中选择的任意的物体的特征点自动地对准焦点的焦点调节方法及其装置。一种焦点调节方法及其装置，是使用作业装置的焦点调节方法，作业装置具备：工件台，载置有基板；摄像装置，不具有自动聚焦功能；XYZ驱动装置，使工件台与摄像装置相对移动；存储装置，存储摄像装置所摄像的图像；显示装置，显示图像显示区域；输入装置，可指定图像显示区域内的任意的位置；聚焦判定装置，对存储装置所存储的多张摄像图像实施图像处理，且根据各摄像图像的对比度来判定聚焦图像；及控制装置，对摄像装置及XYZ驱动装置的动作进行控制；焦点调节方法包含：第一步骤，取得由摄像装置对基板的部分摄像后的部分摄像图像，且显示于具有多个分割区域的图像显示区域；第二步骤，对于使用者经由输入装置而选择的一个分割区域，通过聚焦判定装置进行聚焦图像判定；及第三步骤，将判定为聚焦图像的摄像图像显示于图像显示区域。

主权项

1.一种焦点调节方法，其特征在于，是使用作业装置的焦点调节方法，所述作业装置具备：工件台，其载置有基板；摄像装置，其不具有自动聚焦功能；XYZ驱动装置，其使工件台与摄像装置相对移动；存储装置，其存储摄像装置所摄像的图像；显示装置，其具备具有多个分割区域的图像显示区域；输入装置，其能够指定图像显示区域内的任意的分割区域；聚焦判定装置，其对存储装置所存储的多张摄像图像实施图像处理，且根据各摄像图像的对比度来判定聚焦图像；及控制装置，其对摄像装置及XYZ驱动装置的动作进行控制，所述基板为在其表面上配置有高度不同的多个物体的基板，所述焦点调节方法包含：第一步骤，取得由摄像装置对基板的部分进行摄像后的部分摄像图像，且将所述部分摄像图像显示于显示装置的图像显示区域，以包含高度不同的至少2个物体的方式对基板的部分进行摄像；第二步骤，对于与使用者经由输入装置而选择的图像显示区域中的一个分割区域对应的基板的部分，一边使摄像装置相对于基板沿上下方向移动一边取得多张摄像图像，并存储于所述存储装置，相对于所存储的摄像图像，通过聚焦判定装置进行聚焦图像判定，一边使摄像装置相对于基板沿上下方向移动一边连续地取得摄像图像，并且将该摄像图像与其摄像时的上下方向坐标值一起存储在存储装置，在使用者所选择的一个分割区域内的各摄像图像符合判定基准值的情况下判定为聚焦图像，并对符合该判定基准值的多个摄像图像附上聚焦识别旗标；及第三步骤，将判定为聚焦图像的附有聚焦识别旗标的所有的摄像图像排列而显示于图像显示区域，在所述第三步骤中，同时地显示多个聚焦图像中的聚焦物体的高度信息。