[发明专利]蒸镀装置和有机电致发光元件的制造方法有效
| 申请号： | 201480044817.7 | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN105473757B | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 川户伸一;井上智;越智贵志;小林勇毅;菊池克浩;松本荣一;市原正浩 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 龙淳,池兵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够防止由蒸镀流的散射引起的异常成膜的发生的蒸镀装置、和利用该蒸镀装置形成薄膜图案的有机电致发光元件的制造方法。本发明为一种蒸镀装置，其包括具有射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该喷嘴的前方具有开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模。本发明还为一种有机电致发光元件的制造方法，其包括使用该蒸镀装置形成薄膜的图案的蒸镀工序。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 有机 电致发光 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，包括：具有射出蒸镀颗粒的多个喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该多个喷嘴的前方具有多个开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的各开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模，在从与该第一限制板的上表面或下表面平行的方向看时，该第二限制板配置在该第一限制板的开口部的中央与出口之间，该掩模的缝隙的长边方向与该一体化限制板的开口部的长边方向一致，蒸镀流的放射角度大的成分被该第一限制板遮断，由该第一限制板集中后的成分，由该第二限制板进一步集中为放射角度小的成分，该第二限制板与该喷嘴的射出口的朝向平行地配置。
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