[发明专利]隔膜安装部件及带电粒子线装置有效
| 申请号： | 201480044976.7 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN105493224B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 河西晋佐;大南佑介;铃木宏征;安岛雅彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/18;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 金成哲,宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。 | ||
| 搜索关键词： | 隔膜 安装 部件 带电 粒子 线装 | ||
【主权项】：
一种隔膜安装部件，设置在带电粒子线装置上，上述带电粒子线装置具备：将一次带电粒子线照射在试样上的带电粒子光学镜筒；构成该带电粒子线装置的一部分，内部通过真空泵进行真空排气的壳体；以及能够维持进行上述真空排气的空间的气密状态，并且使上述一次带电粒子线透射或者通过的隔膜，上述隔膜安装部件的特征在于，具备：隔膜设置部位，其用于安装TEM用膜片并将其用作上述隔膜，该TEM用膜片被保持在外形的最长部为2.8mm以上3.2mm以下的基座上；以及，壳体固定部位，其安装在上述带电粒子线装置的壳体上，上述隔膜设置部位具有与上述基座的外形成对的形状的定位结构，上述定位结构的直径或者最大的对角线的长度小于上述基座的外形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480044976.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
