[发明专利]颗粒收集系统及集尘方法

摘要

本发明提供一种不需要定期性实施颗粒的去除作业而能够几乎完全去除颗粒的颗粒收集系统及集尘方法。本发明的颗粒收集系统(1‑1)具备集尘部(2)、电源部(3)、以及静电容量计测部(4)。集尘部(2)是由第一及第二电极(21、22)、第二电极(22)以及覆盖此等电极的介电质(20)所成。电源部(3)为对第一及第二电极(21、22)供给电源电压的部分。静电容量计测部(4)为计测集尘部(2)的静电容量的部分，计测第一及第二电极(21、22)间的静电容量。

主权项

一种颗粒收集系统，其特征在于包括：用以利用静电力吸附颗粒的薄片状且柔软的集尘部、用以对该集尘部供给电源以使其产生静电力的电源部、以及用以计测对应于被吸附在集尘部的颗粒的吸附量而变化的集尘部的静电容量的静电容量计测部，其中，上述集尘部铺满腔室内的地板部、墙壁部以及天花板部的部分中的未安装其他构件的部分的全部，并具有第一电极、配设于第一电极近旁的第二电极、以及至少覆盖第一电极全体的介电质，上述电源部配设于上述腔室之外，并为对上述第一电极及上述第二电极供给规定的电源电压，上述静电容量计测部配设于上述腔室之外，并为计测上述第一电极及上述第二电极之间的静电容量，上述颗粒收集系统通过上述集尘部的上述第一电极及上述第二电极所产生的静电力将颗粒吸附于上述集尘部，而进行上述腔室之内的颗粒的集尘。