[发明专利]晶棒的切断方法及线锯有效
| 申请号： | 201480045783.3 | 申请日： | 2014-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN105492164B | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 上林佳一 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 谢顺星,张晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是一种晶棒的切断方法，其利用在多个钢线导件之间卷绕成螺旋状且在轴向行进的钢线来形成钢线列，并一边将加工液供给至晶棒与钢线的接触部，一边使晶棒压接至钢线列，以将晶棒切断成晶圆状，所述晶棒的切断方法的特征在于，在更换所述钢线后切断第一根所述晶棒时，相对于所述晶棒的中央部份的切断时，将所述晶棒的切断开始部分的切断时的每单位时间的钢线新线供给量的比率控制为在更换所述钢线后切断第二根以后的所述晶棒时的所述比率的1/2以下。由此，提供一种晶棒的切断方法及线锯，其抑制从更换钢线后的第一根与从第二根以后的晶棒所切出的晶圆之间的厚度不均的偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 切断 方法 | ||
【主权项】：
一种晶棒的切断方法，其利用在多个钢线导件之间卷绕成螺旋状且在轴向行进的钢线来形成钢线列，并一边将加工液供给至晶棒与所述钢线的接触部，一边使所述晶棒压接至所述钢线列，以将所述晶棒切断成晶圆状，所述晶棒的切断方法的特征在于：在更换所述钢线后切断第一根所述晶棒时，相对于所述晶棒的中央部份的切断时，将所述晶棒的切断开始部分的切断时的每单位时间的钢线新线供给量的比率控制为：在更换所述钢线后切断第二根以后的所述晶棒时的所述比率的1/2以下。
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