[发明专利]使用纵型晶体管的载荷传感器

摘要

通过使用了肋(2)及有机半导体薄膜(5)等的纵型晶体管来构成载荷传感器(100)，基于纵型晶体管中的沟道长、即漏极－源极间的间隔的变化进行载荷测量。由此，能够使得电流Ids相对于被施加的载荷呈现线性的变化。

主权项

1.一种使用纵型晶体管的载荷传感器，具有：基板(1)，具有为绝缘体的表面；肋(2)，设在上述基板上，由与上述基板不同的材料构成，具有侧面及上表面的表面由绝缘体构成；晶体管，具有形成在上述肋的一侧面的栅极电极(3)、栅极绝缘膜(4)及半导体薄膜(5)；以及底部电极层(6)及顶部电极层(7)，设上述基板中的形成有上述肋的部分为凸部，设没有形成上述肋的部分为凹部，所述底部电极层(6)以在上述凹部的底面上与上述半导体薄膜相接触的方式形成，所述顶部电极层(7)以在上述凸部的上表面上与上述半导体薄膜相接触的方式形成；通过对上述栅极电极施加栅极电压，在上述半导体薄膜上形成沟道区域，在上述底部电极层与上述顶部电极层之间流经电流；在对上述凸部施加载荷时，伴随上述肋的变形，在该肋的高度方向上上述半导体薄膜的长度发生变化，上述载荷传感器基于上述电流变化而进行载荷测量，上述肋由与上述基板相比具有小的杨氏模量的材料构成，上述肋为：该肋中的形成有上述栅极电极的上述一侧面相对于上述基板的表面为垂直，在与形成有上述栅极电极的上述一侧面不同的一面中为锥状，从该肋的上表面到上述锥状的部分及上述基板中的没有形成该肋的部分延伸设置有上述顶部电极层，上述肋的高度为1～50μm。