[发明专利]电子显微镜

摘要

本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。

主权项

一种电子显微镜，具有：电子束的光源；照射光学系统，其由用于将从上述光源发出的电子束照射到试样的多个电子透镜构成；能够移动的照射光阑，其属于变更朝向上述试样的上述电子束的照射量的照射光学系统；试样保持装置，其用于保持上述电子束照射的上述试样；成像透镜系统，其由用于使上述试样的像或上述试样的衍射图案成像的多个电子透镜构成；观察面，其观察通过上述成像透镜系统得到的上述试样的像或上述试样的衍射图案；以及记录装置，其用于记录上述试样的像或上述试样的衍射图案，上述电子显微镜的特征在于，具备能够移动的第一光阑孔，该第一光阑孔用于使透过了上述试样的电子束的一部分选择透过属于上述成像透镜系统的电子透镜中位于上述电子束的行进方向最上游的第一成像透镜与上述试样保持装置之间，具备用于使上述电子束向上述第一成像透镜的上述电子束的行进方向下游侧偏转的偏转装置，通过上述照射光学系统来使透过了上述试样的电子束收敛于上述光阑孔，通过上述偏转装置来修正随着上述第一成像透镜的焦距的变更而产生的上述电子束的轴偏移，通过变更上述第一成像透镜的焦距来观察上述试样的像和上述试样的衍射图案，属于上述照射光学系统的电子透镜中承担朝向上述试样的上述电子束的照射区域的变更的电子透镜的状态通过该电子显微镜的操作者所进行的第一操作而被固定，并且，不管该电子显微镜的其他的操作如何，该电子透镜的状态持续至被上述第一操作或与上述第一操作不同的第二操作解除为止，观察上述试样的像的上述第一成像透镜的焦距和观察上述试样的衍射图案的上述第一成像透镜的焦距通过该电子显微镜的操作者所进行的与上述第一操作和第二操作不同的第三操作而被切换。