[发明专利]保持垫有效
| 申请号： | 201480048115.6 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN105579195B | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 高木正孝;久米贵宏;田中寿明 | 申请（专利权）人： | 富士纺控股株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种保持垫，其为具备聚氨酯树脂片材的保持垫，所述聚氨酯树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面，其中，所述聚氨酯树脂片材在40℃时的储能弹性模量E’为0.3～2.0MPa，并且所述聚氨酯树脂片材的吸水量为95～200mg/50.3cm2。 1 | ||
| 搜索关键词： | 聚氨酯树脂片 储能弹性模量 被研磨物 吸水量 | ||
【主权项】：
1.一种保持垫，其为具备聚氨酯树脂片材的保持垫，所述聚氨酯树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面，其中，所述聚氨酯树脂片材在40℃时的储能弹性模量E’为0.3～2.0MPa，并且所述聚氨酯树脂片材的吸水量为95～200mg/50.3cm2。2.如权利要求1所述的保持垫，其中，所述聚氨酯树脂片材在40℃时的KEL为1.0×105～5.0×105Pa‑1。3.如权利要求1或2所述的保持垫，其中，构成所述聚氨酯树脂片材的树脂在25℃时的100％模量为4.0～10.0MPa。4.如权利要求1或2所述的保持垫，其中，所述聚氨酯树脂片材含有防水剂。5.如权利要求4所述的保持垫，其中，所述防水剂包含具有碳原子数为6～8的全氟烷基的氟系防水剂。6.如权利要求5所述的保持垫，其中，所述聚氨酯树脂片材中含有的所述氟系防水剂的60～100摩尔％为具有碳原子数为6的全氟烷基的氟系防水剂。
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