[发明专利]成膜掩模、成膜装置、成膜方法以及触摸面板基板有效
申请号: | 201480049663.0 | 申请日: | 2014-09-09 |
公开(公告)号: | CN105531394B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 杉本重人 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;G06F3/041 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李洋;青炜 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及成膜掩模、成膜装置、成膜方法以及触摸面板基板。本发明为具备:第一掩模(2),其形成有与在基板上成膜的薄膜图案相同的形状尺寸的多个第一开口图案(4);以及第二掩模(3),其形成内含上述多个第一开口图案(4)中的至少一个的大小的第二开口图案(10),并以相对于该第一掩模(2)成为非约束状态的方式被重叠地设置在上述第一掩模(2)上而构成。 | ||
搜索关键词: | 成膜掩模 装置 方法 以及 触摸 面板 | ||
【主权项】:
1.一种成膜掩模,其特征在于,构成为具备:第一掩模,其构成为将在一面的周边区域形成由独立的多个图案构成的金属薄膜、并形成有与在基板上成膜的薄膜图案相同的形状尺寸的多个第一开口图案的树脂制薄膜,通过将所述金属薄膜点焊于金属框架从而固定于所述金属框架;以及第二掩模,其设置于所述第一掩模的所述树脂制薄膜的另一面侧,形成与上述多个第一开口图案一一对应的大小的第二开口图案,并以相对于所述第一掩模成为非约束状态的方式与之重叠。
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