[发明专利]磁性隧道结及形成磁性隧道结的方法有效
| 申请号： | 201480050115.X | 申请日： | 2014-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105556691B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 古尔特杰·S·桑胡 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;G11C11/15 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种形成一行磁性隧道结的方法，其包含：在衬底上形成磁性记录材料，在所述记录材料上形成非磁性材料，及在所述非磁性材料上形成磁性参考材料。所述衬底具有沿至少一个横截面的反应源材料与绝缘体材料的交替外区域。所述反应源材料包含将在经受一组温度及压力条件时与所述记录材料反应以形成电介质材料的反应物。将所述参考材料图案化成穿过所述交替外区域的纵向延长行。所述记录材料经受所述组温度及压力条件以与所述反应源材料的所述反应物反应，以形成沿所述行与所述记录材料纵向交替的所述电介质材料的区域且沿所述行形成磁性隧道结，所述磁性隧道结个别地包括纵向地介于所述电介质材料区域之间的所述记录材料、所述非磁性材料及所述参考材料。本发明揭示其它方法及独立于方法的磁性隧道结行。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 隧道 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成一行磁性隧道结的方法，其包括：在衬底上形成磁性记录材料，在所述记录材料上形成非磁性材料，及在所述非磁性材料上形成磁性参考材料；所述衬底包括沿至少一个横截面的反应源材料及绝缘体材料的交替外区域；所述反应源材料包括将在经受一组温度及压力条件时与所述记录材料反应以形成电介质材料的反应物；将所述参考材料图案化成穿过所述交替外区域的纵向延长行；及使所述记录材料经受所述组温度及压力条件以与所述反应源材料的所述反应物反应，以形成沿所述行与所述记录材料纵向交替的所述电介质材料的区域且沿所述行形成磁性隧道结，所述磁性隧道结个别地包括纵向地介于所述电介质材料区域之间的所述记录材料、所述非磁性材料及所述参考材料。
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