[发明专利]用于固化硅的具有低渗透率涂层的衬底在审

专利信息
申请号: 201480050801.7 申请日: 2014-09-12
公开(公告)号: CN105593193A 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: 让-保罗·加朗代;丹尼斯·卡梅尔;贝亚特丽斯·德勒韦;尼古拉斯·于斯塔泽普罗斯;查尔斯·休格特;约翰·特斯塔尔德;拉伊萨·沃伊托维奇 申请(专利权)人: 原子能与替代能源委员会
主分类号: C04B41/87 分类号: C04B41/87;C04B41/89;C30B11/00;C30B15/10
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华;石磊
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 发明涉及一种衬底,其特征在于,所述衬底被至少部分地表面涂覆有涂层,所述涂层含有至少一个所谓的“屏障”层,所述“屏障”层包括二氧化硅和选自SiC、Si、Si3N4中的一种或多种材料X,在所述“屏障”层中,相对于所述屏障层的总重量,X的量在25重量%至50重量%之间变化,所述屏障层由至少部分地包括在二氧化硅壳层中的一种或多种材料X的细粒构成,所述屏障层与所述衬底直接接触。
搜索关键词: 用于 固化 具有 渗透 涂层 衬底
【主权项】:
一种衬底,其特征在于,所述衬底被至少部分地表面涂覆有涂层,所述涂层含有至少一个被称为“屏障”层的层,所述层包括二氧化硅和选自SiC、Si和Si3N4中的一种或多种材料X,在所述层中,相对于所述屏障层的总重量,X的重量范围为25%至50%,所述屏障层由至少部分地涂覆有二氧化硅壳层的一种或多种材料X的细粒构成,所述屏障层被设置成与所述衬底直接接触。
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