[发明专利]多成分用激光式气体分析计

摘要

本发明提供一种用一台装置同时、高速、高精度、高灵敏度、高稳定性地对O2气体浓度和CO气体浓度进行测定的激光式气体分析计。提出一种多成分用激光式气体分析计，宽频带受光元件在某个期间内接受经由带发光部孔抛物柱面镜的贯通孔和宽频带聚焦透镜的第一检测光，并且，宽频带受光元件在其它期间内接受经由带发光部孔抛物柱面镜和宽频带聚焦透镜的第二检测光，基于在不同期间内从宽频带受光元件所接受到的第一、第二检测信号来分别单独地对O2气体浓度和CO气体浓度进行测定。

主权项

1.一种多成分用激光式气体分析计，该多成分用激光式气体分析计采用波长可变激光分光法和波长调制分光法，所述波长可变激光分光法和波长调制分光法对测定对象空间的氧气和一氧化碳气体中的一种即第一测定对象气体和另一种即第二测定对象气体的浓度进行测定，所述多成分用激光式气体分析计的特征在于，包括发光部和受光部，所述发光部包括：第一发光元件，该第一发光元件射出包含第一测定对象气体的光吸收频谱的波长频带的激光；第二发光元件，该第二发光元件射出包含第二测定对象气体的光吸收频谱的波长频带的激光；平行光转换部，该平行光转换部将从第一发光元件射出并扩散的激光转换成第一大致平行光，并将其作为第一检测光而射出；带发光部孔抛物柱面镜，该带发光部孔抛物柱面镜具有使第一检测光透过的贯通孔、及用于对从第二发光元件射出并扩散的激光进行反射并将其转换成第二大致平行光以作为第二检测光来射出的抛物柱面镜，且使第一、第二检测光沿同一光轴传播到测定对象空间；以及调制光生成部，该调制光生成部将根据第一、第二测定对象气体而进行波长调制后的激光的驱动电流提供给第一、第二发光元件，所述受光部包括：宽频带聚焦部，该宽频带聚焦部将沿同一光轴传播到测定对象空间的第一、第二检测光一起进行聚焦；宽频带受光元件，该宽频带受光元件接受由宽频带聚焦部进行聚焦后的第一、第二检测光，并输出第一、第二检测信号；以及受光信号处理部，该受光信号处理部基于从宽频带受光元件接收到的第一、第二检测信号，来进行气体分析，发光部的调制光生成部与受光部的受光信号处理部被同步，且在不同的时间单独地对氧气和一氧化碳气体的浓度进行测定，发光部的调制光生成部对第一发光元件或第二发光元件进行波长扫描，以使其包含在对一氧化碳气体进行分析时一氧化碳气体的波长2326.8nm的吸收谱线、及存在于波长2326.8nm附近且吸收强度的峰值波长不同的水分气体的吸收谱线，受光部的受光信号处理部在每次对一氧化碳气体浓度进行计算时都进行如下校正：即，同时也对水分气体浓度进行测定，对将适当的比例系数乘以该水分气体浓度而得到的用于减轻因水分气体而造成的干扰影响的校正值进行计算，之后，将所测得的一氧化碳气体浓度减去该校正值来作为一氧化碳气体浓度。