[发明专利]具有一体式静电夹盘的基板载体

摘要

一种适用于在处理系统中使用的基板载体包括电极组件和支撑底座。电极组件配置成生成静电夹持力以将基板固定至基板载体。支撑底座具有形成在其中的加热/冷却槽。电极组件和支撑底座形成单一主体，所述单一主体配置成在处理系统内传输。快断器耦接至主体，并且配置成当主体从热调节介质的源解除耦接时来将热调节介质陷捕在加热/冷却槽中。

主权项

1.一种基板载体，适用于在处理系统中使用，所述基板载体包括：支撑底座；电极组件，具有交错的指形电极，所述交错的指形电极形成在所述电极组件中且设置在所述支撑底座上；控制器，在所述基板载体的板上，所述控制器适用于控制每一个电极组件的状态；以及连接器，耦接至所述支撑底座，并且配置成使电源与所述电极组件断开电连接，所述支撑底座和所述电极组件包括单一主体，所述单一主体适用于在所述处理系统内传输。