[发明专利]使用侧壁横梁制造技术的微机械柔性设计有效
| 申请号： | 201480052007.6 | 申请日： | 2014-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN105579882A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | T·杜恩;M·安德森;A·W·斯帕克斯;J·吴;中川英树 | 申请（专利权）人： | 皮克斯特隆尼斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;G02B26/08;B81C1/00;G02F1/01;H02N1/00;G02B26/04;B81B3/00;H01H3/60;B81B5/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供利用显示器中的挠曲部的系统、方法和设备。在一些实施方案中，机电系统EMS装置可包含沿光调制器的运动轴具有低硬度且在其它方向上具有高硬度的挠曲部。所述挠曲部可包含机械地将MEMS结构耦接至锚的一或多个横梁。所述横梁可耦接至铰链部分，所述铰链部分经配置以通过所述MEMS结构和所述挠曲部抑制平面外运动。所述挠曲部还可使用加强部分抑制平面外运动。所述加强部分可机械地耦接至所述铰链部分或所述挠曲部的至少一个横梁。通过改变所述加强部分的横截面几何形状，所述加强部分的所述硬度可经控制以增大在平面外方向上移动所述挠曲部所需的力。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 侧壁 横梁 制造 技术 微机 柔性 设计 | ||
【主权项】：
一种机电装置，其包括：微机电系统MEMS挠曲部(400)，其具有：第一横梁(412)；及实质上平行于所述第一横梁(412)定位的第二横梁(418)，所述第一横梁(412)和第二横梁(418)在第一方向上延伸；以及位于所述第一横梁(412)的第一末端且将所述第一横梁(412)耦接至所述第二横梁(418)的铰链(402)，所述铰链(402)具有：在第二方向上延伸且横向于所述第一及第二横梁的第一铰链横梁(414)；以及在第一方向上耦接至第一铰链横梁(412)的加强部分(404)，所述加强部分(404)包含在实质上平行于第一平面的平面中延伸的二维表面。
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