[发明专利]用于基于有机溶剂的双性光致抗蚀剂的含磺酸酯的聚合物有效
| 申请号： | 201480052827.5 | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN105723281B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | R.阿约蒂;S.A.斯旺森;G.M.沃尔拉夫 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司;捷时雅株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/039;G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 肖靖泉 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供化学增幅抗蚀剂组合物，所述组合物包括在有机溶剂中能显影的酸不稳定的磺酸酯光致抗蚀剂聚合物。所述化学增幅抗蚀剂取决于有机显影溶剂的选择而产生高分辨率正性显影(PTD)和负性显影(NTD)图像。此外，通过添加包含酸不稳定的磺酸酯部分的光致抗蚀剂聚合物，对于双性成像可优化传统化学增幅抗蚀剂的溶解反差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 有机溶剂 双性光致抗蚀剂 含磺酸酯 聚合物 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括：制备包括有机溶剂能显影的光致抗蚀剂聚合物的双性化学增幅光致抗蚀剂组合物，其中所述光致抗蚀剂聚合物包括：(i)由聚(4‑羟基苯乙烯‑共‑甲基丙烯酸2‑乙基‑2‑金刚烷基酯‑共‑2‑羟基蒎基‑3‑(4‑苯乙烯磺酸酯)表示的基于聚(羟基苯乙烯)的聚合物，并且酸不稳定的磺酸酯部分以5‑10重量％的范围存在于所述基于聚(羟基苯乙烯)的光致抗蚀剂聚合物中；(ii)由聚(5‑丙烯酰氧基‑2,6‑降莰烷内酯‑共‑甲基丙烯酸2‑乙基‑2‑环戊基酯‑共‑2‑羟基蒎基‑3‑(4‑苯乙烯磺酸酯)或聚(甲基丙烯酸2‑[1',1',1'‑三氟‑2'‑(三氟甲基)‑2'‑羟基)丙基‑3‑降冰片基酯‑共‑甲基丙烯酸2‑乙基‑2‑环戊基酯‑共‑5‑丙烯酰氧基‑2,6‑降莰烷内酯‑共‑2‑羟基蒎基‑3‑(4‑苯乙烯磺酸酯)表示的基于内酯的聚合物，并且酸不稳定的磺酸酯部分以5‑31重量％的范围存在于所述基于内酯的光致抗蚀剂聚合物中；或者(iii)由聚(甲基丙烯酸2‑[1',1',1'‑三氟‑2'‑(三氟甲基)‑2'‑羟基)丙基‑3‑降冰片基酯‑共‑甲基丙烯酸2‑乙基‑2‑环戊基酯‑共‑2‑羟基蒎基‑3‑(4‑苯乙烯磺酸酯)表示的不含内酯的光致抗蚀剂聚合物，并且酸不稳定的磺酸酯部分以5‑31重量％的范围存在于所述不含内酯的光致抗蚀剂聚合物中。
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