[发明专利]阻抗匹配方法和阻抗匹配系统有效
| 申请号： | 201480053671.2 | 申请日： | 2014-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN105594122B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 金宰显;李相元 | 申请（专利权）人： | MKS韩国株式会社 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;曹正建 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阻抗匹配器件和阻抗匹配方法。可变电抗阻抗匹配网络被布置在用于改变驱动频率(f)的可变频率RF功率源与负载之间。所述可变电抗阻抗匹配网络的阻抗匹配方法包括：将所述阻抗匹配网络的可变电抗组件的电容或电感的变化量控制成为目标驱动频率ft与所述驱动频率之间的差的函数。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种被布置在用于改变驱动频率f的频率可变RF功率源与负载之间的可变电抗阻抗匹配网络的阻抗匹配方法，所述阻抗匹配方法包括：通过测量所述频率可变RF功率源的输出处的第一电特性、使用所述频率可变RF功率源处的所述第一电特性检查阻抗匹配状态，和改变所述频率可变RF功率源的驱动频率来进行第一阻抗匹配；以及将所述阻抗匹配网络的可变电抗组件的电容或电感的变化量控制成为目标驱动频率ft与所述驱动频率f之间的差的函数，以使所述频率可变RF功率源被诱导为以所述目标频率驱动频率操作。
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