[发明专利]生物分子测量装置

摘要

在生物分子测量装置中设置探测因生物分子样品与试剂的反应而产生的离子的半导体传感器。半导体传感器具有：配置于半导体基板且对离子进行探测的多个单元；和多个读出线。多个单元各自包含：具有浮动栅极且对离子进行探测的ISFET；对ISFET的输出进行放大的第1MOSFET(M2)；和将第1MOSFET的输出有选择地传送到对应的读出线(R1)的第2MOSFET(M3)。多个单元各自具备在ISFET中产生热电子且使电荷注入到ISFET的浮动栅极的第3MOSFET(M1)。在此，第2MOSFET和第3MOSFET分别被控制。

主权项

1.一种生物分子测量装置，其设置探测因生物分子样品与试剂的反应而产生的离子的半导体传感器，其中，所述半导体传感器具备：半导体基板；在所述半导体基板中配置成阵列状且各自对离子进行探测的多个单元；和配置于所述多个单元所形成的阵列的多个读出线，所述多个单元各自具备：具有浮动栅极且探测离子的浓度的变化的ISFET；具有接受所述ISFET的输出的栅极且对所述ISFET的输出进行放大的第1MOSFET；将所述第1MOSFET的输出有选择地传送到所述多个读出线之内的对应的读出线的第2MOSFET；和与所述ISFET连接且在所述ISFET中产生热电子并使电荷注入到所述ISFET的浮动栅极的第3MOSFET，所述第2MOSFET和所述第3MOSFET分别被控制，针对所述多个单元的每一个，基于由所述第1MOSFET放大后的所述ISFET的输出来对所述ISFET的阈值电压给出不同的变化量，由此将所述多个单元各自中的所述ISFET的阈值电压纳入到规定的范围内。