[发明专利]接合用银片及其制造方法,以及电子部件接合方法有效

专利信息
申请号: 201480056727.X 申请日: 2014-10-06
公开(公告)号: CN105637595B 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 栗田哲;远藤圭一;三好宏昌 申请(专利权)人: 同和电子科技有限公司
主分类号: H01B5/02 分类号: H01B5/02;B22F1/00;B22F3/10;B22F5/10;B22F9/00;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/52;B22F1/02
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 王永红
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供采用3MPa以下的低加压力得到高接合强度的接合用银片。该银片是粒径1~250nm的银粒子通过烧结而一体化的银片,升温至满足270≤TA<TB≤350的T3A~TB(℃)进行保持时,具有进一步进行烧结的性质的接合用银片。该银片是通过如下制造:把包含粒径1~250nm的银粒子的银粉、与在200℃以下的温度区域进行挥发的分散介质混合的银糊的涂膜,在不发生烧结的温度区域加热处理后,于赋予5~35MPa加压力的状态下,可用170~250℃的温度进行烧成的方法来制造。
搜索关键词: 接合 烧结 银片 用银 温度区域 加压力 银粒子 粒径 制造 电子部件 分散介质 加热处理 挥发 可用 烧成 涂膜 银粉 银糊 一体化 赋予
【主权项】:
接合用银片的制造方法,其具有:将包含粒径1~250nm的银粒子的银粉、与下述(A)定义的25%挥发温度T25(℃)处在100℃以上200℃以下的温度区域的分散介质混合的银糊,于基板上涂布的工序;上述涂布后的涂膜,在上述T25(℃)以上且不产生银粒子烧结的温度区域进行加热处理,使上述分散介质进行挥发的工序;以及上述加热处理后的涂膜,在赋予5~35MPa的加压力状态下,于170~250℃的温度进行烧成,得到银粒子通过烧结而一体化的银片的工序,(A)将上述银糊供给在大气中从常温以10℃/min进行升温的热重量分析(TG)时、由下述(2)式确定的分散介质的重量减少率成为25%的温度,作为25%挥发温度T25(℃):[分散介质的重量减少率(%)]=[通过热重量分析的升温而已挥发的分散介质的累计质量(g)]/[供给热重量分析前的银糊试样中存在的分散介质总质量(g)]×100···(2)。
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