[发明专利]具有双边测量能力的掠入射干涉仪有效
| 申请号： | 201480057206.6 | 申请日： | 2014-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN106415191B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | J·M·科布;T·J·邓恩;J·W·弗兰克维奇 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 掠入射干涉仪包括隔开的第一衍射光学元件和第二衍射光学元件，在其之间设置大体上平面的物体。第一衍射光学元件形成剪切的第一衍射阶光束，剪切的第一衍射阶光束以掠入射角从物体的相反的第一表面和第二表面反射，而零衍射阶光束未反射。第二衍射光学元件将未反射的零衍射阶光束和剪切的反射光束结合以形成准直的结合光束。1X双远心中继系统将结合光束中继到折叠光学系统，所述折叠光学系统在位于像平面处的漫射屏上形成第一干涉图像和第二干涉图像。第一干涉图像和第二干涉图像的数字图像被获取并被处理以表征物体的厚度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 双边 测量 能力 入射 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种掠入射干涉仪，用于分析物体的表面，所述掠入射干涉仪包括：第一衍射光学元件(DOE)，布置成接收基本上相干的光束并且从中形成零衍射阶光束和第一衍射阶光束，其中所述第一衍射阶光束以掠入射角从所述物体表面反射，而所述零衍射阶光束是未反射的；第二DOE，布置成接收未反射的零衍射阶光束和反射的第一衍射阶光束并将未反射的零衍射阶光束和反射的第一衍射阶光束结合以形成基本上准直的结合光束；1X双远心中继系统，具有与所述结合光束共轴的光轴以及尺寸设定成仅透射或反射所述结合光束的孔径光阑；以及屏幕，基本上以所述掠入射角倾斜。
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