[发明专利]涡电流传感器增益的确定

摘要

在一个方面，控制抛光的方法包括以下步骤：在抛光第一基板之前接收来自直联式或单机监测系统的对第一基板上的导电膜的初始厚度的测量；在抛光系统中抛光一个或更多个基板，所述一个或多个基板包括第一基板；在抛光所述一个或更多个基板的期间，利用涡电流监测系统监测所述一个或更多个基板以生成第一信号；确定用于第一基板的抛光的起始的、所述第一信号的起始值；对于在抛光所述一个或更多个基板中的至少一个基板的期间收集到的第一信号中的至少部分，基于起始值以及对初始厚度的测量来确定增益；以及基于第一信号和增益来计算第二信号。

主权项

1.一种控制抛光的方法，所述方法包含以下步骤：在抛光第一基板之前，从直联式或单机监测系统接收对所述第一基板上的导电膜的初始厚度的测量；在抛光系统中抛光一个或更多个基板，所述一个或更多个基板包括所述第一基板；在抛光所述一个或更多个基板期间，利用涡电流监测系统来监测所述一个或更多个基板以生成第一信号；确定用于所述第一基板的抛光的起始的、所述第一信号的起始值；基于所述起始值以及对所述初始厚度的所述测量来确定增益；对于在抛光所述一个或更多个基板中的至少一个基板期间收集到的所述第一信号的至少部分，基于所述第一信号和所述增益来计算第二信号；以及基于所述第二信号来为所述基板中的所述至少一个基板确定抛光终点或对抛光参数的调整中的至少一者。