[发明专利]具有除气屏蔽件的MEMS设备

摘要

罩式微机械设备具有位于第一气密室内的可动微机械结构以及在第二气密室内的一个以上的互连，所述第二气密室气密地隔离于所述第一气密室，以及在其罩上的屏障层，其中罩面向第一气密室，使得第一气密室隔离于来自罩的除气。

主权项

一种罩式微机械设备，包括：基板，其包括从所述基板悬置的MEMS结构，以及与所述MEMS结构耦合的至少第一电导体；半导体罩，其与所述基板平行地悬置并且与所述基板隔开封罩间隙，所述罩包括至少第二电导体；第一隔离壁，其布置在所述基板与所述罩之间且跨越所述封罩间隙，所述第一隔离壁和所述基板限定了MEMS室，所述MEMS室封闭所述MEMS结构，使得所述MEMS结构能够在所述MEMS室内移动；屏蔽层，其布置在所述罩的面的区域与所述MEMS室之间，所述罩的所述面的所述区域是所述罩的所述面的与所述MEMS室正相对的部分，其中所述屏蔽层将所述MEMS室相对于所述半导体罩密封，以提供所述半导体罩与所述MEMS室之间的完全除气屏障，并且所述屏蔽层被偏置到固定电位；第二隔离壁，其布置在所述基板与所述罩之间且跨越所述封罩间隙，所述第二隔离壁、所述基板和所述罩限定互连室，所述互连室被气密地密封且气密地隔离于所述MEMS室；以及互连结构，其布置在所述互连室内并且跨越所述封罩间隙，所述互连结构将所述第一电导体与所述第二电导体电耦合，使得所述MEMS室气密地隔离于所述互连室，并且所述MEMS结构与所述第二电导体电耦合。